[发明专利]混合型基于规则的光学近似修正方法

摘要

本发明提供一种混合型基于规则的光学近似修正方法，这种方法整合了数种基于规则的光学近似修正方法的优点，其主要步骤是，先使用基于多边形的规则区分目标图案为两类，然后对所区分的两类目标图案分别进行X，Y轴向基于边的光学近似修正和中心检查基于边的光学近似修正，这种混合型基于规则的光学近似修正方法可以克服现有方法存在的修正不精确的缺点，并且此种方法不会使光学近似修正的成本上升。

主权项

1.一种混合型基于规则的光学近似修正方法，其特征在于，包括下列步骤：1)使用基于多边形的判断规则区分目标图案为两类，在规定的距离范围中，目标图案周围具有数量≤2的相邻图案的，为一维目标图案，目标图案周围具有数量≥3的相邻图案的，为二维目标图案；2)对于一维目标图案，先判断其X或Y轴向相邻的图案；X或Y轴向规定距离范围内两边均有相邻图案的目标图案，其位于相应轴向的两个边均按照稠密环境的图案修正规则进行修正；X或Y轴向规定距离范围内都没有相邻图案的目标图案，其位于相应轴向的两个边均按照稀疏环境的图案修正规则进行修正；X或Y轴向上，有一边在规定距离范围内有相邻图案，另一边在规定距离范围内没有相邻图案的目标图案，有相邻图案的一边按照稠密环境的图案修正规则进行修正，无相邻图案的一边按照照稀疏环境的图案修正规则进行修正；3)对于二维目标图案，使用中心检查基于边的光学近似修正规则，在规定的距离范围中，根据相邻的图案环境决定目标图案每一边的修正方式，具有相邻图案的目标图案的边按照稠密环境的图案修正规则进行修正，没有相邻图案的目标图案的边按照稀疏环境的图案修正规则进行修正。