[发明专利]ZrO2/TiN硬质纳米多层涂层无效
| 申请号： | 200610029133.7 | 申请日： | 2006-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN1888124A | 公开（公告）日： | 2007-01-03 |
| 发明（设计）人： | 李戈扬;刘艳;岳建岭;孔明;戴嘉维 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种ZrO2/TiN硬质纳米多层涂层，属于陶瓷涂层领域。本发明由ZrO2层和TiN层交替沉积在硬质合金、陶瓷或金属基底上形成，ZrO2层的厚度为2～8nm，TiN层厚为0.4～1.2nm，涂层总厚度为2～5μm。本发明的ZrO2/TiN纳米多层涂层采用在氩气氛中的双靶溅射技术在抛光的金属或陶瓷基体表面交替沉积ZrO2层和TiN层得到。本发明所得的ZrO2/TiN纳米多层涂层不但具有优异的高温抗氧化性，而且具有19.1GPa至23GPa的硬度。本发明作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨、耐腐蚀工件的涂层，具有很高的应用价值和推广的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | zro sub tin 硬质 纳米 多层 涂层 | ||
【主权项】：
1、一种ZrO2/TiN硬质纳米多层涂层，其特征在于，ZrO2层和TiN层形成在金属或陶瓷基体上，TiN层的厚度为0.4～1.2nm，ZrO2层的厚度为2.5～8nm，ZrO2/TiN硬质纳米多层涂层的总厚度为2～5μm。
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