[发明专利]氯化铵和四氯化钛络合物回收装置有效

专利信息
申请号: 200610028917.8 申请日: 2006-07-13
公开(公告)号: CN101104519A 公开(公告)日: 2008-01-16
发明(设计)人: 王秀鹏 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: C01C1/16 分类号: C01C1/16;C01G23/02
代理公司: 北京市金杜律师事务所 代理人: 李勇
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 氯化铵和四氯化钛络合物回收装置,是包括:圆桶形外壳,两种结构不同的多片氯化铵和四氯化钛络合物粉末回收片A、B,和水冷却管的冷阱;圆桶形外壳的内壁与收集粉末的回收片的边缘之间几乎没有间隔,水冷却管与多片氯化铵粉末回收片焊接在一起,所述回收片一种是直径比较小没有孔的圆形回收片A,另一种回收片是直径比较大的中心有圆形孔的圆环形回收片B;最上部的是直径比较小没有孔的圆形回收片A,最下部的回收片是直径比较大的中心有圆形孔的圆环形回收片B,两种回收片按上部的间隔大下部的间隔小的方式交替同轴设置,形成弯曲的气流通道。
搜索关键词: 氯化铵 氯化 络合物 回收 装置
【主权项】:
1.氯化铵和四氯化钛络合物回收装置,是包括:圆桶形外壳,多片氯化铵粉末回收片(A,B),和冷却水管的冷阱;其特征是,冷阱内收集氯化铵粉末的回收片A和B是两种结构不同的回收片,回收片A是直径比较小没有孔的圆形,回收片B是直径比较大的中心有圆形孔的圆环形,圆桶形外壳的内壁与收集氯化铵粉末的圆环形回收片B的边缘之间几乎没有间隔,冷阱内的多片回收片A和回收片B按规定间隔交替设置,冷却水管与多片氯化铵粉末回收片焊接在一起;冷阱内最上部的氯化铵回收片是直径比较小没有孔的圆形回收片A,冷阱内最下部的氯化铵回收片是直径比较大的中心有圆形孔K的圆环形回收片B,两种回收片按上部的间隔大,下部的间隔小的方式交替设置,因而形成弯曲的废气通道,延长了废气通道长度,减少了从上到下的各个回收片上收集的氯化铵粉末数量的差别,使位于冷阱下部的氯化铵废物回收片上也能收集到大量的氯化铵废物粉末。
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