[发明专利]一种光刻机无效
| 申请号： | 200610027271.1 | 申请日： | 2006-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN1896875A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 翟晶;刘晖 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明设计一种光刻机，将传统光刻机的工件台、掩膜台与投影系统均旋转90度，这样做使得工件台和掩膜台在垂直平面内运动，从而消除了掩膜台和工件台的运动对整机稳定性的影响，降低了控制补偿的难度，提高了光刻机工作稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 | ||
【主权项】：
1、一种光刻机，包括驱动电机、主基板及其承载的照明系统、曝光系统、运动系统、预对准台和测量系统，其特征在于：工件台和掩膜台保持垂直放置，并在垂直平面内运动，投影物镜保持水平放置，整个光刻机的光线工作路径与水平面基本保持平行。
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