[发明专利]带有集成化阶梯状槽栅结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种带有集成化阶梯状槽栅结构的平板显示器及其制作工艺，平板显示器包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和四周玻璃围框构成的密封真空腔、在阳极玻璃面板上有阳极电极层以及印刷在阳极电极层上的荧光粉层、用于控制电子发射的栅极导电层以及生长的碳纳米管阴极、支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极面板上有集成化阶梯状槽栅结构，充分利用了直接生长法制备的碳纳米管所具有的良好场致发射特性和边缘场致发射增强效应降低了器件的工作电压，还将栅极和阴极高度集成化到一起，提高了整体器件的制作成功率，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

1、一种带有集成化阶梯状槽栅结构的平板显示器，包括由阴极面板[10]、阳极面板[11]和四周玻璃围框[16]构成的密封真空腔、阳极面板[11]上光刻的阳极导电层[12]以及制备在阳极导电层[12]上的荧光粉层[14]、阴极面板[10]和阳极面板[11]之间的支撑墙结构[17]以及消气剂附属元件[15]，其特征在于：在阴极面板[10]上安装固定有将栅极和阴极集成化到一起的集成化阶梯状槽栅结构，阴极位于阶梯状槽栅结构的台阶上，其电子发射受着栅极结构控制。