[发明专利]集成输出直波导的电泵浦微腔激光器

摘要

本发明公开一种集成输出直波导的电泵浦微腔激光器，可以将微腔激光器中的激光由集成的输出直波导的端口输出。该器件是基于耳语回廊模式原理产生激光振荡的微腔激光器。器件由管芯和热沉两部分组成，管芯是在半导体量子阱激光器外延片上经过光刻、腐蚀、氧化及电子束蒸发等复杂的器件工艺后完成的微腔激光器芯片。管芯的中心是一个微碟或微环，在微碟或微环的边缘沿切线方向集成一个直波导，宽度为数个微米，长度为数十-数百微米，厚度与微碟或微环的厚度一致。在微碟或微环的表面制备有欧姆接触金属薄膜，采用焊料将管芯和热沉焊接在一起。该器件具有结构简单、输出耦合效率高的优点，满足大规模光集成器件研究的需要。

主权项

1.集成输出直波导的电泵浦微腔激光器，该器件包括管芯和热沉两部分部分，通过焊料将两者焊接在一起，其特征在于该器件包括热(1)、衬底(2)、直波导(3)、与微碟(4)、欧姆接触薄膜(5)、微环(6)；管芯的中心是一个微碟或微环，由此分为两种结构；其一是直波导(3)与微碟(4)相连接，并沿微碟(4)切线方向延长；微碟(4)直径在十几微米-数十微米之间，厚度为数个微米，直波导(3)宽度为数个微米，长度为数十-数百微米，厚度与微碟(4)相同；其二是直波导(3)与微环(6)相连接，并沿微环(6)切线方向延长；微环(6)外径和内径在十几微米-数十微米之间，厚度为数个微米，宽度为数个微米；直波导(3)宽度为数个微米，长度为数十-数百微米，厚度与微环(6)相同。