[发明专利]一种在空心微珠表面真空镀二氧化钛薄膜的方法无效
| 申请号： | 200610015533.2 | 申请日： | 2006-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN101135042A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 沈志刚;俞晓正;徐政;杨春元;李勇;裴小科;范洪涛 | 申请（专利权）人： | 国家纳米技术与工程研究院;北京航空航天大学;深圳微纳超细材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/54;C23C14/02;B08B3/04 |
| 代理公司： | 国嘉律师事务所 | 代理人： | 高美岭 |
| 地址： | 300457天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种在空心微珠表面真空镀二氧化钛薄膜的方法，采用微颗粒脉冲溅射真空镀膜设备制备，以空心微珠颗粒材料作基底，以金属钛作溅射靶材，通过向真空室内同时充入氧气和氩气并采用脉冲电源在真空室内辉光放电，使金属钛与氧气发生反应，在空心微珠表面生成光催化二氧化钛薄膜。本发明的优点是：真空镀二氧化钛薄膜为单一锐钛矿相二氧化钛薄膜，在紫外线作用下可以实现对有机物的光催化降解，使其应用范围更加广泛的应用；所镀二氧化钛薄膜均匀性好且附着力强；可在不同粒径的空心微珠表面沉积上不同厚度的二氧化钛薄膜；空心微珠密度比水小，在水面上有较好的漂浮性，回收容易，不会造成对环境的二次污染并可重复利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空心 表面 真空 氧化 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在空心微珠表面真空镀二氧化钛薄膜的方法，采用微颗粒脉冲溅射真空镀膜设备制备，其特征在于：以空心微珠颗粒材料作基底，以金属钛作溅射靶材，通过向真空室内同时充入氧气和氩气并采用脉冲电源在真空室内辉光放电，使金属钛与氧气发生反应，在空心微珠表面生成光催化二氧化钛薄膜。
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