[发明专利]激光扫描共聚焦显微镜扫描畸变现象的全场校正方法

摘要

激光扫描共聚焦显微镜扫描畸变现象的全场校正方法，采用标准光栅试件，用LSCM扫描云纹方法得到扫描云纹图像，再通过云纹相移技术对原始图像进行四步相移处理得到相移云纹图像，根据云纹相移理论由相移得到的云纹图得出相位图，解包裹后得到原始相位图，根据相位和位移场的关系得到扫描畸变场，从而达到校正的目的。本发明同现有方法作比较，有如下显而易见的突出特点和显著优点：本发明通过扫描云纹和云纹相移技术，将扫描控制单元的畸变现象引起的扫描线的畸变场直接测量出来。具有精度高、操作简单、实时测量且可进行全场测试等特点。

主权项

1.一种激光扫描共聚焦显微镜扫描畸变现象校正方法，其特征在于该方法按如下步骤 进行： a.根据标准一维光栅样品栅距p_s和激光扫描共聚焦显微镜扫描所使用的扫描线数N，按 照公式L＝p_s(N(l-1))计算形成扫描云纹时所需要的扫描区域L的大小，l是云纹条数； b.在待标定激光扫描共聚焦显微镜中按步骤a计算出的扫描区域对标准一维光栅样品进 行扫描，并形成扫描云纹，记录云纹图像； c.利用激光扫描共聚焦显微镜中的载物台对光栅样品做平移使样品发生p_s/4，p_s/2， 3p_s/4的位移量，使得记录下来的云纹条纹的光强函数的相移量为π/2，π，3π/2，记录下 各个相位下的云纹图像； d.根据云纹相移方法的理论，用各幅图像中的光强函数计算出第一幅云纹图的相位函 数； e.由步骤d得到的相位函数画出相位图； f.对步骤e得到的相位图作解包裹处理得到原始的相位图和相位函数； g.根据上边得到相位函数(x)，由云纹方法的原理，按照公式求出 样品的位移场v(x，y)，该位移场v(x，y)就是所求的激光扫描共聚焦显微镜中扫描控制单元的 畸变场。