[发明专利]用于可靠性测试的方法和装置无效
| 申请号： | 200610008001.6 | 申请日： | 2006-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN1834674A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 竹内恭彦;滩仁志 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于对被测器件进行可靠性测试的方法和使用该方法的装置，所述方法包含以下步骤：第一步骤，在将第一电压施加到被测器件达预定时间之后施加第二电压，并测量流经该被测器件的电流；第二步骤，对同一被测器件接连进行两次或更多次第一步骤；第三步骤，对多个被测器件接连进行第二步骤；第四步骤，对同一被测器件进行一次或接连进行两次或更多次第一步骤；第五步骤，在进行第三步骤之后，接连对多个被测器件进行第四步骤；以及第六步骤，对每个被测器件得到施加第一电压的总时间与电流之间的关系。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 可靠性 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于对被测器件进行可靠性测试的方法，所述方法包含：第一步骤，在第一电压已被施加到被测器件达预定时间之后，在第二电压被施加时测量流至所述被测器件的电流；第二步骤，对同一被测器件接连进行两次或更多次所述第一步骤；第三步骤，对多个被测器件接连进行所述第二步骤；第四步骤，对同一被测器件进行一次或接连进行两次或更多次所述第一步骤；第五步骤，在进行所述第三步骤之后，接连对多个被测器件进行所述第四步骤；以及第六步骤，对每个被测器件，得到施加所述第一电压的总时间与电流之间的关系。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安捷伦科技有限公司，未经安捷伦科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610008001.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
