[发明专利]物理量传感器

摘要

一种物理量传感器，将与所定方向(例如最大应力的外加方向)的应力(σ)平行的方向定义为横向、垂直的方向定义为纵向后，所述流量传感器的电阻器(7a、7b、8a、8b)，就具有横向电阻成分(Rl)和纵向电阻成分(Rt)。加给基板的应力σ加给横向的电阻成分Rl时的压电电阻系数πl，和应力σ加给纵向的电阻成分(Rt)时的压电电阻系数(πt)之比，是πl∶πl＝－n∶1(n为整数)时，将纵向的电阻成分(Rt)和横向的电阻成分Rl的电阻比，设定成与压电电阻系数πl与πt之比的绝对值大致相等。在确保强度的可靠性的同时，降低应力引起的电阻变化，提供高精度的物理量传感器。

主权项

1、一种物理量传感器，在基板上形成有带状图案的用于计测物理量的电阻器，其特征在于，当将与加给所述基板的所定方向的应力相平行的方向作为横向而相垂直的方向作为纵向时，所述电阻器，具有横向电阻成分R1和纵向电阻成分Rt；在压电电阻系数π1与压电电阻系数πt之比是πt/π1＝-1/n时，其中，n为整数，所述压电电阻系数π1是当加给所述基板的所定方向的应力是加给所述横向的电阻成分R1时的压电电阻系数π1；所述压电电阻系数πt是当所述所定方向的应力是加给所述纵向的电阻成分Rt时的压电电阻系数πt，通过设定，使所述纵向的电阻成分Rt与所述横向的电阻成分R1之间的电阻比、与所述压电电阻系数π1与πt之比的绝对值大致相等：R1/Rt|πt/π1|。