[发明专利]等离子加工设备有效
| 申请号： | 200610003211.6 | 申请日： | 2006-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN1812685A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李荣钟;崔浚泳;郑然周;孙亨圭;金春植;郑元基;朴希侦 | 申请（专利权）人： | 爱德牌工程有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 朱登河;王艳江 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种等离子加工设备，其在真空状态的腔室内产生等离子体从而利用该等离子体处理放置在该腔室内的基片，该等离子加工设备包括一个环绕于设置在该等离子加工设备内的电极周围的等离子体防护单元，用来阻止电极暴露于等离子体中。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 加工 设备 | ||
【主权项】：
1、一种等离子加工设备，其具有一腔室，该等离子加工设备包括：用于在其上安装基片的电极部分，该电极部分安装在所述腔室内并包括顺序叠置的基板、绝缘体、冷却板和下电极；分别安装在所述电极部分的侧表面和上表面边缘上的绝缘板；和插块，该插块用于在将所述下电极组装于电极部分时压按所述下电极的侧表面，从而以干涉配合方式安装该下电极。
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