[发明专利]表面声波传感器方法和系统无效
| 申请号： | 200580048204.1 | 申请日： | 2005-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN101120237A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | S·J·马吉;J·Z·刘;J·D·库克 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L1/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;王小衡 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 这里公开了传感器系统和方法，其包括传感器芯片，在该传感器芯片上至少两个表面声波(SAW)感测元件中心定位在传感器芯片的第一侧(例如，前侧)。SAW感测元件占据传感器芯片第一侧上的共用区。被蚀刻的隔膜中心定位在与和该两个SAW感测元件相关联的第一侧相对的传感器的第二侧(即，后侧)，以便将传感器系统或传感器装置的机械应变集中在被蚀刻的隔膜中，从而提供高强度，高灵敏度以及其制造的容易度。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 声波 传感器 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种传感器系统，包含：传感器芯片；至少两个表面声波(SAW)感测元件，其中心定位在所述传感器芯片的第一侧，其中所述至少两个SAW感测元件占据所述传感器芯片的所述第一侧上的共用区；被蚀刻的隔膜，其中心定位在与和所述至少两个SAW感测元件相关联的所述第一侧相对的所述传感器芯片的第二侧，以便将机械应变集中在所述被蚀刻的隔膜中，从而提供高强度，高灵敏度以及其制造的容易度。
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