[发明专利]通过随机施涂触变性蚀刻剂进行选择性表面织构化无效
申请号: | 200580046012.7 | 申请日: | 2005-12-22 |
公开(公告)号: | CN101189134A | 公开(公告)日: | 2008-05-28 |
发明(设计)人: | J·G·迪姆;D·P·劳比 | 申请(专利权)人: | 波克股份有限公司 |
主分类号: | B44C1/22 | 分类号: | B44C1/22;C03C15/00;C03C25/68;C23F1/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 张宜红 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供了一种可以按照预期处理基板表面的改进方法,该方法包括使用预先选择的触变性蚀刻剂获得优良并且预先确定的基板表面。 | ||
搜索关键词: | 通过 随机 施涂触 变性 蚀刻 进行 选择性 表面 织构化 | ||
【主权项】:
1.一种触变性化合物,由选自以下的组合物制成:包含王水的溶液;包含氯化铁的溶液;包含过氧化氢/HCl的溶液;以及包含氢氧化钾的溶液,所述溶液用一定量的热解法二氧化硅处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于波克股份有限公司,未经波克股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200580046012.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。