[发明专利]用于下游气体离解的方法和设备无效
| 申请号： | 200580041519.3 | 申请日： | 2005-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN101068614A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | W·M·霍尔比;X·陈 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J12/00 | 分类号： | B01J12/00;C23C16/452;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于活化和离解气体的方法和设备，包括用位于一个室中的等离子体产生活化气体。相对于该室的出口设置下游气体进口，使活化气体能够促进通过该气体进口引入的下游气体的离解，其中离解的下游气体基本不会与所述室的内表面发生相互作用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 下游 气体 离解 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种离解气体的方法，其包括：在一个室中用等离子体产生活化气体；相对于所述室的出口设置下游气体进口，使活化气体能够促进通过所述气体进口引入的下游气体的离解，其中离解的下游气体基本不与所述室的内表面相互作用。
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