[发明专利]追踪方法及设备无效
| 申请号： | 200580035333.7 | 申请日： | 2005-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN101057183A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 江尻铁平;尾崎多可雄;冈崎洋二 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03B27/32;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在通过相对于追踪表面沿预定方向移动各自包括空间光学调制装置和光学系统的多个追踪头执行追踪的追踪方法中，因环境温度变化而引起的追踪头的相对位置关系的变化被最小化。多个空间光学调制装置34a、34b被设置在单个追踪头30内，并且，使用共同的光学系统36、37和38将经所述多个空间光学调制装置34a、34b调制的光聚焦在追踪表面12a上，以减少追踪头30的数量。 | ||
| 搜索关键词： | 追踪 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种使用追踪头的追踪方法，所述追踪头包括：空间光学调制装置，所述空间光学调制装置由呈二维布置于其上的许多追踪元件构成，其用于根据依据追踪信息传送的控制信号来调制输入光；和光学系统，所述光学系统用于将经所述空间光学调制装置调制的光聚焦在追踪表面上，在所述追踪方法中，通过将控制信号传送至所述空间光学调制装置的所述追踪元件来进行调制并相对于所述追踪表面沿预定扫描方向来移动所述追踪头从而来执行追踪，其中：所述追踪头包括多个所述空间光学调制装置和共同的光学系统，所述光学系统用于将经所述多个空间光学调制装置调制的光聚焦在所述追踪表面上；以及所述方法利用包括所述多个空间光学调制装置和所述共同光学系统的所述追踪头来执行追踪。
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