[发明专利]包括可切换光阑和用于射束偏转的装置的光盘驱动的伺服支路、以及用于测量射束着靶和球面像差的方法无效
申请号: | 200580032600.5 | 申请日: | 2005-09-20 |
公开(公告)号: | CN101027721A | 公开(公告)日: | 2007-08-29 |
发明(设计)人: | S·斯塔林加;B·H·W·亨德里克斯;T·图克;S·凯帕;A·H·J·英明克;C·T·H·F·利登鲍木 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | G11B7/00 | 分类号: | G11B7/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 李静岚;王忠忠 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 可切换光阑(9)和用于射束偏转的装置(10)被放置在光学驱动的伺服支路中,在不同衍射级的光束路径中。这允许在个体的基础上将光束级重定向朝向检测装置(8)并根据要求在检测装置(8)处选择光束级。设备检测装置(8)中的检测器的数量因此可被减少,因此还减少了与那些检测器相关的额外部件并节约了成本和复杂性。通过这种装置功能,开发了用于测量射束着靶和球面像差的新方法。 | ||
搜索关键词: | 包括 切换 光阑 用于 偏转 装置 光盘 驱动 伺服 支路 以及 测量 射束着靶 球面 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光学驱动的伺服支路,包括用于检测零级光束和较高级光束的检测装置(8),其特征在于可切换光阑(9)和用于射束偏转的装置(10)被放置在所述零级和较高级光束的路径中。
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