[发明专利]用于二维和三维图像检测的系统

摘要

本发明公开一种检测系统，该检测系统将二维检测(用于检测电子器件201的元件的二维标准)和三维检测(用于检测电子器件201的元件的三维标准)结合在一个模块中。还提供了用于控制和数据分析的计算机。三维图像获取装置包括三维图像传感器和三维光源(105)(优选的是激光辐射的平面层状光，基本垂直于电子器件的平面)。二维图像获取装置包括二维传感器(103和403)和二维光源(102)。当电子器件被固定在同一位置时可以完成二维和三维检测。

主权项

1.一种用于检测电子器件的检测系统，所述系统包括：用于将电子器件固定在检测台上的装置；二维(2-D)检测装置，该装置包括用于对电子器件照明的二维光源，以及用于获取电子器件的二维图像的二维传感器，所述二维光源和二维传感器设置于检测台的上方；及三维(3-D)检测装置，该装置包括能够在电子器件上生成层状光的三维光源，以及用于获取电子器件的三维图像的第一三维传感器，所述三维光源和第一三维传感器设置于检测台的上方，并且所述三维光源被定向以使层状光基本垂直于检测台，其中二维检测装置和三维检测装置的排列使当电子器件被固定在同一位置时可以完成二维检测和三维检测。