[发明专利]衍射部件无效
申请号: | 200580025558.4 | 申请日: | 2005-07-21 |
公开(公告)号: | CN1993738A | 公开(公告)日: | 2007-07-04 |
发明(设计)人: | B·亨德里克斯;T·W·图克 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | G11B7/00 | 分类号: | G11B7/00;G11B7/125 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 张雪梅;陈景峻 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 本发明披露了一种用于光学扫描装置的衍射部件。所述装置用于借助于具有第一波长和第一偏振的第一辐射束扫描第一信息层、借助于具有第二波长和第二偏振的第二辐射束扫描第二信息层和借助于具有第三波长和第三偏振的第三辐射束扫描第三信息层。所述第一、第二和第三波长彼此不同。所述装置包括:辐射源,用于提供所述第一、第二和第三辐射束;物镜系统,用于将所述各辐射束会聚在相应的信息层上;和布置在所述辐射束的光路中的衍射部件。所述衍射部件包括:第一衍射光栅结构,其包括一系列预定高度的阶梯用于引入相变,所述相变对于所述第二和第三波长来说是2π的整数倍,但对于所述第一波长不是;和第二衍射光栅结构,其包括一系列预定高度的阶梯用于引入相变,所述相变对于所述第一和第三波长来说是2π的整数倍,但对于所述第二波长不是。 | ||
搜索关键词: | 衍射 部件 | ||
【主权项】:
1、一种光学扫描装置(1),用于借助于具有第一波长(λ1)和第一偏振(p1)的第一辐射束(4)扫描第一信息层(2)、借助于具有第二波长(λ2)和第二偏振(p2)的第二辐射束扫描第二信息层(2’)和借助于具有第三波长(λ3)和第三偏振(p3)的第三辐射束(4”)扫描第三信息层(2”),其中所述第一、第二和第三波长(λ1,λ2,λ3)彼此不同,所述装置包括:辐射源(7a,7b),用于提供所述第一、第二和第三辐射束(4,4’,4”);物镜系统(8),用于将所述各辐射束会聚在相应信息层上;和布置在所述辐射束(4,4’,4”)的光路中的衍射部件(24),所述衍射部件包括:第一衍射光栅结构,其包括一系列预定高度的阶梯用于引入相变,所述相变对于所述第二和第三波长(λ2,λ3)来说是2π的整数倍,但对于所述第一波长(λ1)不是;和第二衍射光栅结构,其包括一系列预定高度的阶梯用于引入相变,所述相变对于所述第一和第三波长(λ1,λ3)来说是2π的整数倍,但对于所述第二波长(λ2)不是。
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