[发明专利]操作微阀组件的方法及相关结构与相关装置无效
| 申请号： | 200580024642.4 | 申请日： | 2005-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN101002040A | 公开（公告）日： | 2007-07-18 |
| 发明（设计）人： | W·O·蒂奇;P·W·吉布森;K·R·杜格拉斯;D·C·哈里斯;S·H·古德温;D·E·道施;W·D·德特洛夫 | 申请（专利权）人： | 阿法控制装置有限责任公司 |
| 主分类号： | F16J3/00 | 分类号： | F16J3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军;廖凌玲 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种阀组件可以包括主壳体和第一及第二静电致动阀。主壳体可界定至少三个腔，第一腔设置为耦合至高压供应端口，第二腔设置为耦合至输出端口，以及第三腔设置为耦合至低压排放端口。第一静电致动阀可设置在所述第一腔与所述第二腔之间，并且所述第一静电致动阀响应于第一电信号允许或实质上阻塞所述第一腔与所述第二腔之间的流体连通。第二静电致动阀可设置在所述第二腔与所述第三腔之间，并且所述第二静电致动阀响应于第二电信号允许或实质上阻塞所述第二腔与所述第三腔之间的流体连通。还讨论了相关方法。 | ||
| 搜索关键词： | 操作 组件 方法 相关 结构 装置 | ||
【主权项】：
1.一种阀组件，包括：界定至少三个腔的主壳体，第一腔设置为耦合至高压供应端口，第二腔设置为耦合至输出端口，以及第三腔设置为耦合至低压排放端口；位于所述第一腔与所述第二腔之间的第一静电致动阀，其中所述第一静电致动阀响应于第一电信号允许或实质上阻塞所述第一腔与所述第二腔之间的流体连通；以及位于所述第二腔与所述第三腔之间的第二静电致动阀，其中所述第二静电致动阀响应于第二电信号允许或实质上阻塞所述第二腔与所述第三腔之间的流体连通。
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