[发明专利]蚀刻速率控制

摘要

在基底(例如，适于与一个或多个附加板组装以限定出模具(42)的模板(50)，模具(42)用于在接触紧固件的钩子组件上形成钩子或杆)的一面形成空腔(10)的方法，包括：在基底上形成具有蚀刻剂通过区(65)和蚀刻剂阻滞区(59)图案的光刻胶材料(64)层；并且将化学蚀刻剂施用到基底上施用，使得蚀刻剂底蚀蚀刻剂阻滞区(59)以在基底中形成单独连续的空腔(68a、68b)。该空腔各个区域的相对蚀刻深度部分地由光刻胶材料中蚀刻剂通过区的密度控制。

主权项

1、形成片状产品的方法，所述片状产品具有从其宽表面延伸的凸出物(34)阵列，该方法包括：在第一模板(50)上形成空腔，包括：在该第一模板(50)的至少一面上形成光刻胶材料层(64)，该光刻胶材料层包括蚀刻剂通过区(63)和蚀刻剂阻滞区(59)的图案；和将化学蚀刻剂施用到该板上使得蚀刻剂底蚀该蚀刻剂阻滞区以在该板上在所述蚀刻剂通过区和蚀刻剂阻滞区的图案下面的区域内形成单独的连续空腔(68a、68b)；用一个或多个附加板与第一模板组装以形成模(42)，该空腔协同相邻板的表面以至少部分限定从该模表面向内延伸的模空腔(10)阵列之一，和将树脂(40)施用到该模的表面且迫使一些树脂进入模空腔以形成从形成在该模表面的树脂层(32)整体延伸的凸出物(34)阵列。