[发明专利]用于UV辐射源的石英玻璃元件和生产方法以及这种石英玻璃元件的适用性分析

摘要

一种生产用于UV辐射源的石英玻璃元件的常规方法，包括熔化含SiO₂的晶粒，本发明的目的是提供一种改进和廉价的方法，其能生产特征在于高耐辐射性的石英玻璃元件。为此，熔化合成产生的石英晶体得到由石英玻璃组成并含有羟基数量大于SiH基数量的初始产品。为了除去SiH基，在至少850℃的温度下对初始产品进行回火步骤，由此得到石英玻璃元件。本发明的石英玻璃元件特征在于石英玻璃由合成产生的石英晶体熔化而成，并具有小于5×10¹⁷个分子/cm³的SiH基含量。本发明还涉及测试供UV辐射源使用的石英玻璃元件的适应性的方法。

主权项

1.一种用于UV辐射源的石英玻璃元件，特征在于石英玻璃由合成产生的石英晶体熔化而成，并具有小于5×1017个分子/cm3的SiH基含量。