[发明专利]用于将两个连通的处理单元不漏蒸汽地断开的阀

摘要

本发明涉及一种用于将两个连通的处理单元不漏蒸汽地断开的阀(1)。所述阀(1)包括连通两个真空蒸发器的连续管道(3)，以及内置于所述管道的闭锁机构(12)，所述两个真空蒸发器均具有外面不漏蒸汽的套。本发明的目的在于提供一种允许以不漏蒸汽的方式断开两个互相连接的真空处理腔的阀，从而改善功能的可靠性。所述目的通过所述阀管道的蒸汽撞击表面设有抗蒸汽冷凝区域实现，所述抗蒸汽冷凝区域以导热方式连接到为包围所述阀而配置的加热装置(15)。

主权项

1.一种用于将两个连通的处理单元不漏蒸汽地断开的阀，所述阀具有连通两个处理单元的连续管道以及内置于所述管道的闭锁机构，其特征在于，所述阀(1)的所述管道(3)的所述蒸汽撞击表面设有抗蒸汽冷凝区域，该抗蒸汽冷凝区域以导热方式连接到为包围所述阀而配置的加热装置(15)。