[发明专利]压电薄膜谐振器无效
| 申请号： | 200580013358.7 | 申请日： | 2005-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN1947333A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 河村秀树;小口贵弘;梅田圭一;山田一 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种压电薄膜谐振器，包括：在对置的一对电极(14、16)之间配置有压电薄膜(15)的薄膜部(17)、形成在薄膜部(17)的一对电极的一方(14)的一侧的绝缘膜(18)、支承薄膜部(17)的一对电极的另一方(16)的一侧的一部分的基板(12)。薄膜部(17)和绝缘膜(18)成为一体，以2以上的整数倍波的至少一个振动模式振动，在该至少一个振动模式下，构成为2以上的整数倍波的波腹位于绝缘膜(18)内。由此，可以降低非谐高阶模杂散，且能够实现小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 谐振器 | ||
【主权项】：
1、一种压电薄膜谐振器，其中包括：基板；薄膜部，其被所述基板支承，且在音响学上与该基板分离，在对置的一对电极之间配置有压电薄膜；和绝缘膜，其形成在所述薄膜部的所述一对电极的一方的一侧，所述薄膜部以及所述绝缘膜成为一体，以2以上的整数倍波模式的至少一个整数倍波模式振动，在该至少一个整数倍波模式下，构成为所述2以上的整数倍波模式的波腹位于所述绝缘膜内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580013358.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
