[发明专利]同轴形微波等离子枪无效
| 申请号： | 200580010311.5 | 申请日： | 2005-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1954647A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 藤井修逸;拉玛沙米·拉兹;浦山卓也;藤岡万也 | 申请（专利权）人： | 阿德特克等离子技术公司 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 具备：外侧导体(1)，其具有圆柱形状；圆筒状的放电管(3)，其插入并固定于在外侧导体的一端面(4)侧形成的轴向的孔(2)内；同轴电缆(6)，其一端从外侧安装在外侧导体的另一端面。在同轴电缆的一端具备与其内部导体(8)电连接的天线(9)，天线通过外侧导体的另一端面(5)及轴向贯通轴向的孔的底面间的贯通孔(11)延伸到放电管内，同轴电缆的外部导体(7)与外侧导体电连接，在外侧导体上设置有向放电管内供给气体的气体导入管路(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 同轴 微波 等离子 | ||
【主权项】：
1.一种同轴形微波等离子枪，其特征在于，具备：外侧导体，其具有圆柱形状；圆筒状的放电管，其插入并固定于在所述外侧导体的一端面侧形成的轴向的孔内；微波传输用的同轴电缆，其一端从外侧安装在所述外侧导体的另一端面，在所述同轴电缆的一端具备与其内部导体电连接的天线，在所述外侧导体上形成从其另一端面侧朝向所述轴向的孔轴向延伸的贯通孔，所述天线在与所述外侧导体电绝缘的状态下通过所述贯通孔并延伸到所述放电管内，所述同轴电缆的外部导体与所述外侧导体电连接，在所述外侧导体上设置有向所述放电管内供给气体的气体导入管路。
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