[实用新型]高、低频电浆清洗机

摘要

一种高、低频电浆清洗机，包含一腔体、安装在该腔体内部用以提供处理基材置放的一电极平台、可将反应气体通入该腔体内的至少一气体导入装置、可馈入微波在该腔体内的一微波产生装置及可传导射频能量至该腔体内的一射频电源供应器；其中，在该腔体底部设有一可旋转的基座，使得该电极平台可受带动旋转，并在该腔体顶部设置一螺旋接头用以引入射频能量及做为该电极平台的一活动枢轴；可切换或是同时使用微波产生装置与射频电源供应器在腔体内产生电浆，据此，可处理不同制程需求的基材，并达成反应速度快及低温特性，并可同时或是各自在腔体内形成电浆，藉以清除基材上前制程所造成的不同污染物，并具有结构简单及操作便利等优点。

主权项

1.一种高、低频电浆清洗机，其特征在于，包含：一腔体，位于一机台上，并连接有用以使该腔体内部可形成一真空腔室的抽气管；一用以提供基材置放的电极平台，位于腔体内部，电极平台底部具有一用以带动其旋转的可旋转的基座；一用以将反应气体通入该腔体内的气体导入装置；一用以将微波馈入该腔体内，使得导入腔体内的反应气体形成电浆的微波产生装置；及一用以将射频或是低频能量传导至该腔体内，使得电极内产生电浆并可与微波产生装置相互切换或是同时使用的射频电源供应器，其具有一用于与上述电极平台连接以引入射频能量的转轴。