[实用新型]用于光盘母盘表面及内部的短脉冲激光精密刻蚀装置无效
| 申请号： | 200520046634.7 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN2854762Y | 公开（公告）日： | 2007-01-03 |
| 发明（设计）人： | 顾爱宜;贾锋 | 申请（专利权）人： | 上海市激光技术研究所 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26;B23K26/00 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200233*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于光盘母盘表面及内部的短脉冲激光精密刻蚀装置，特点是，激光器用YVO固体倍频激光器或YAG灯泵型固体倍频激光器，短脉冲宽度在10ns以内，频率为100－1000Hz，脉冲能量大于0.5mj；激光器发出的光束通过扩束望远镜，二维高速扫描振镜，进入F－Q光学聚焦装置；激光器中，全反射镜和输出镜之间设有电光调Q开关和偏振片，带有温控板的倍频晶体置于输出镜和短波通之间；本装置选用的激光传送装置是由二维高速扫描振镜和由步进电机或伺服电机驱动的三维工作台组成。本实用新型克服了现有技术的缺陷，利用短脉冲激光在玻璃表面上刻蚀各种图案及条形码，主要用于光盘母盘表面条形码和商标的刻蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光盘 母盘 表面 内部 脉冲 激光 精密 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于光盘母盘表面及内部的短脉冲激光精密刻蚀装置，它包括：激光器、激光电源、水冷系统、扫描振镜、F-θ透镜、工作台、控制装置，其特征在于，所述激光器以高重复频率的半导体二极管泵浦ND:YVO固体倍频激光器，或者是以高重复频率的ND:YAG灯泵型固体倍频激光器，短脉冲宽度在10ns以内，脉冲频率在100-1000HZ，脉冲能量大于0.5mj(波长532nm)；由激光器发出的光束通过扩束望远镜，二维X，Y高速扫描振镜，进入焦距是80-160mm为F-Q光学聚焦装置；在所述的激光器中，全反射镜和输出镜之间设有电光调Q开关和偏振片，带有温控板的倍频晶体置于输出镜和短波通之间；本装置选用的激光传送装置是由一套二维X，Y高速扫描振镜和由步进电机或伺服电机驱动的三维工作台组成。
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