[实用新型]大型真空设备的快速抽气装置无效
| 申请号： | 200520045016.0 | 申请日： | 2005-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN2921039Y | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 储红缨 | 申请（专利权）人： | 储红缨 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200130上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种大型真空设备的快速冲洗抽气装置，其包括真空室、预抽泵、真空阀和真空计，该真空设备还包括冲洗真空机组、冲洗气体气源和冲洗气体注入口。本实用新型利用注入非活性气体，冲洗真空设备中的活性气体，并重复进行冲洗抽气，或连续冲洗可以快速降低真空容器中活性气体分压强。本实用新型具有结构简单、抽气时间短、能耗低、生产效率高，并可提高真空产品的质量的特点，还能降低高真空泵的抽速，特别适用于对活性气体敏感的等离子体应用(磁控溅射、离子镀、PCVD等)、各种大型真空炉熔炼炉和热处理炉等应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 大型 真空设备 快速 装置 | ||
【主权项】：
1.一种大型真空设备的快速抽气装置，其中包括真空室(1)、真空阀(4)、预抽泵(12)、真空计(6)、(7)，其特征在于：1)该快速抽气装置的真空室(1)经真空阀(2)与依次串接的前级泵(13)、真空阀(5)真空计(8)、分子/增压泵(3)组成的冲洗真空泵机组相连接；2)该快速抽气装置的真空室(1)与冲洗气体高纯氩气(11)相连接；3)高纯氩气(11)向真空室(1)的气体注入口设置在真空室(1)抽气气流的上游、远离抽气口的部位。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于储红缨，未经储红缨许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200520045016.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
