[实用新型]一种快速通电加热成膜处理装置无效
| 申请号： | 200520039958.8 | 申请日： | 2005-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN2832825Y | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 江莞;郜剑英 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C23C8/10 | 分类号： | C23C8/10 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 20005*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种快速通电加热成膜处理装置。本实用新型特征在于由电流温度曲线控制系统、矫直拉力调节系统、红外测温系统、保温系统和循环水冷系统组成；其中，电流温度控制系统一端与红外测温系统和保温系统相连，另一端与矫直拉力控制系统相连接；循环冷却系统和加热炉相关的电极相连，矫直拉力系统的另一端是通过电气比例阀与电极的下夹具连接的。本实用新型应用多段曲线加热和小拉力矫直等手段，并采用温度反馈引导的电流控制的控制系统，能够实现通电加热成膜过程的自动控制。主要应用于硅钼棒、硅碳棒发热元件及自保护型金属间化合物棒状型材的加热成膜处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 通电 加热 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种快速通电加热成膜处理装置，其特征在于由电流温度曲线控制系统、矫直拉力调节系统、红外测温系统、保温系统和循环水冷系统组成；其中，电流温度控制系统一端与红外测温系统和保温系统相连，另一端与矫直拉力控制系统相连接；循环冷却系统和加热炉相关的电极相连，矫直拉力系统的另一端是通过电气比例阀与电极的下夹具连接的。
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