[发明专利]气泡式反应清洗装置及其方法

摘要

一种气泡式反应清洗装置及其方法，是利用气泡式界面扩散层压缩技术，利用气动方式产生的气泡壁作为气－液－固异相系统的反应界面(interface)，并借助气泡沿着待清洗的材质表面爬升的拖曳过程，让液－固界面层厚度压缩变小，而使界面质传效率最佳化，进而有效除去材质表面的有机物。

主权项

1.一种气泡式反应清洗装置，是以一气泡式反应去除一基材表面的有机物，该清洗装置包含：一反应槽，该反应槽用以容置该基材，并提供该基材清洗的空间；一反应气体供应源，该反应气体供应源与该反应槽连接，该反应气体供应源用以对该反应槽输出一反应气体；一反应液体供应源，该反应液体供应源用以输出一反应液体；一温度控制系统，该温度控制系统与该反应液体供应源连接，该温度控制系统用以控制该反应液体的温度，并将该反应液体输出至该反应槽；一气泡产生机构，该气泡产生机构用以接收该反应气体后，输出至该反应液体中产生一气泡；一运动单元，该运动单元用以使该基材于该反应槽中产生一转动位移；一压力控制系统，该压力控制系统与该反应槽连接，该压力控制系统用以控制该反应槽的压力，并抽取该反应槽中多余的该反应气体；及一涤洗液供应源，该涤洗液供应源于清除该有机物后，提供一涤洗液清洗该基材。