[发明专利]带有色要素膜基板的制造方法及带有色要素膜基板无效
| 申请号： | 200510133820.9 | 申请日： | 2005-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN1797211A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 片上悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;G02B5/20;H01L27/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种带有色要素膜基板的制造方法，包括：在支撑基板(12)上将第1层(13)及具有光硬化性的第2层(14)以该顺序层叠，经过曝光、显影，将第1层(13)及第2层(14)的一部分除去，将其剩余部分作为堤堰(16)的堤堰形成工序、向由堤堰划分出的分区中赋予色要素膜形成用的液状材料的液状材料赋予工序、通过使赋予分区的液状材料硬化或固化而形成色要素膜的色要素膜形成工序，第1层(13)可溶于显影的显影液中，第2层(14)可溶于显影液中，并且与第1层(13)相比向显影液中的溶解速度更慢，利用显影，使第2层(14)的剩余部分的宽度大于第1层(13)的剩余部分的宽度，形成堤堰。 | ||
| 搜索关键词： | 有色 要素 膜基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带有色要素膜基板的制造方法，包括：在基材上层叠第1层及具有光硬化性的第2层，经过曝光、显影，将所述第1层及所述第2层的一部分除去，将所述第1层及所述第2层的剩余部分作为堤堰的堤堰形成工序、向由所述堤堰划分出的分区中赋予色要素膜形成用的液状材料的液状材料赋予工序、通过使被赋予到所述分区的液状材料硬化或固化而形成色要素膜的色要素膜形成工序，所述第1层可溶于所述显影的显影液中，所述第2层可溶于所述显影液中，并且与所述第1层相比向所述显影液中的溶解速度更慢，利用所述显影，使所述第2层的剩余部分的宽度大于所述第1层的剩余部分的宽度，形成堤堰。
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