[发明专利]载台驱动装置和防抖动装置

摘要

提供一种载台驱动装置，其包括可移动单元，固定单元，第一、第二及第三驱动单元以及控制器。可移动单元可沿着第一方向以及第二方向移动。可移动单元可在可移动平面上旋转。可移动平面与第一及第二方向都平行。固定单元为可移动单元提供支撑，使其可以移动及旋转。第一驱动单元沿着第二方向为可移动单元提供第一驱动力。第二和第三驱动单元沿着第一方向为可移动单元提供驱动力。可移动单元的第二驱动位点接收来自第二驱动单元的驱动力。可移动单元的第三驱动位点接收来自第三驱动单元的驱动力。连接第二及第三驱动位点的线段与第一方向不平行。

主权项

1.一种载台驱动装置，包括：可移动单元，其可沿着第一方向以及与所述第一方向不同的第二方向移动，并可在与所述第一及第二方向都平行的可移动平面上旋转；固定单元，当所述可移动单元沿着所述第一和第二方向移动并在所述可移动平面上旋转时，其为可移动单元提供支撑；第一驱动单元，其沿着第二方向为可移动单元提供第一驱动力；第二驱动单元，其沿着第一方向为可移动单元提供第二驱动力；第三驱动单元，其沿着第一方向为可移动单元提供第三驱动力；控制器，其控制所述第一、第二及第三驱动力；并且所述第一、第二及第三驱动单元与所述可移动单元及所述固定单元中的一个连接；在所述可移动单元上的一个位点，其接收来自所述第二驱动单元的所述第二驱动力，被定义为第二驱动位点；在所述可移动单元上的另一位点，其接收来自所述第三驱动单元的所述第三驱动力，被定义为第三驱动位点；以及连接所述第二及第三驱动位点的线段，其与所述第一方向不平行。