[发明专利]涂敷装置

摘要

本发明的课题在于提供一种在通过基板背面侧的气流中几乎不包含雾状涂敷液、从而涂敷液不会附着到基板背面上的涂敷装置。当基板(W)旋转且空间(S)内成为减压状态后，仅有纯空气从基板(W)的外周缘透过冲孔板(8)并穿过挡雾装置(10)与水平部(7)之间的间隙，从通气用的开口(9)穿过水平部(7)的上表面与基板(W)的下表面之间的间隙向径向外侧流动，另一方面，从基板(W)的外周缘飞出的线状的剩余涂敷液在穿过冲孔板(8)之时被截留从而被冲孔板捕捉到，对于雾，虽然会穿过冲孔板(8)但是在挡雾装置(10)处被捕捉到，结果，在从通气用的开口(9)朝向水平部(7)的上表面和基板(W)的下表面之间的间隙的气流中，不包含涂敷液及雾，从而涂敷液不会附着到基板(W)的下表面上。

主权项

1.一种涂敷装置，其在配置于壳体内的主轴卡盘上载置基板，利用前述主轴卡盘使基板旋转，由此使滴落到基板表面上的涂敷液均匀扩散，其特征在于，在前述壳体的底面上，设置有对前述主轴卡盘以使其上表面露出的状态进行收纳的筒状壁部，在该筒状壁部的外侧配置有整流部件，该整流部件包括固定设置在前述壳体上的立起壁、和从该立起壁的上端向前述筒状壁部延伸的水平部，进而，前述立起壁的全部或者局部为空气可流通的多孔体或者冲孔板，在前述水平部上形成有通气用的开口，在该通气用的开口的下方配置有挡雾装置。