[发明专利]在硅光电池表面刻槽的方法及装置

摘要

本发明公开了一种在硅光电池的表面进行刻槽的加工方法及装置。该方法采用两束激光分别与加工平面的法线方向对称倾斜角度+θ和－θ，并且使两束激光所在的平面垂直于槽线方向，用聚焦透镜将两束激光聚焦在垂直于槽线方向上，焦点位于硅片表面下方，将加工平面沿着槽线方向平移，两束激光加工形成下宽上窄的线槽。该装置包括激光器、分光器件、全反射镜、聚焦透镜、两维精密工作台。本发明具有能够直接完成硅光电池的刻槽加工任务、成本低、效率高、加工质量容易保证等优点。

主权项

1、在硅光电池表面刻槽的方法，包括以下步骤：1)设置一激光器，所述的激光器输出激光的光路上设置一分光器件；2)用所述的分光器件将激光束等能量地分成两束激光；3)将两束激光分别与加工平面的法线方向对称倾斜角度+θ和-θ；并且使两束激光所在的平面垂直于槽线方向；4)将两束激光聚焦在垂直于槽线方向上，焦点位于硅片表面下方；5)将加工平面沿着槽线方向平移，两束激光加工形成下宽上窄的线槽。