[发明专利]用于高精度机器视觉测量的测量被遮蔽特征的方法有效

专利信息
申请号: 200510087674.0 申请日: 2005-07-29
公开(公告)号: CN1904545A 公开(公告)日: 2007-01-31
发明(设计)人: 安娜·泰萨多 申请(专利权)人: 株式会社米姿托约
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 马浩
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种在机器视觉测量中测量被遮蔽特征的方法。所述方法允许对被无关对象(例如平板显示屏掩模的覆盖栅格)部分遮蔽的高精度测量。该方法首先粗略定位待测特征的边缘点。在一个实施例中,通过使用形态滤波器删除无关对象(例如遮蔽栅格),然后在滤波后的图像上进行边缘检测,粗略边缘定位操作被执行。一旦粗略边缘位置被确定,则该方法回到原始的未经改变的图像,并且对于每个粗略定位的边缘点,在原始的未经改变的图像中的该点的近邻中进行边缘检查。然后这些细化后的边缘点位置被用于拟合高度精密的测量特征。
搜索关键词: 用于 高精度 机器 视觉 测量 遮蔽 特征 方法
【主权项】:
1.一种用于检查由一个机器视觉检查系统采集的一个工件的图像的方法,所述机器视觉检查系统具有一个用户界面,所述用户界面可用于定义一个操作序列,所述操作序列可用于检查所述图像,所述方法包括:采集一幅图像;执行处理以产生一幅滤波后的图像;在所述滤波后的图像中定位一个或多个边缘点;以及将所述滤波后的图像中定位的一个或多个所述边缘点的位置用于所述原始图像中的边缘定位。
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