[发明专利]产生彩色滤光片的方法与装置

摘要

本发明揭露一种产生彩色滤光片的方法和装置，其利用一能产生复数个曝光光源的曝光扫描装置，通过高速控制此复数个曝光光源的开关时间，以及使该复数个曝光光源和一基板间产生一相对运动，以对基板上的一着色光阻层进行曝光制程，其中此复数个曝光光源的开关时间分别由复数个光栅开关所控制；接着，对曝光后的着色光阻层进行显影制程，以形成一颜色画素着色层；重复上述步骤即可产生所需的多种颜色画素着色层于此基板上。本发明的特点在于曝光制程中，其不需使用到光罩，且透过此曝光扫描装置的相关操作，将可处理不同大小、规格的基板。

主权项

1.一种彩色滤光片的制程方法，其特征是，包含：(a)提供复个曝光光源；(b)形成一第一着色光阻层于一基板上；(c)控制该复数个曝光光源的开关时间并使该基板与该复数个曝光光源间产生一第一相对运动，以对该第一着色光阻层进行曝光操作，并形成所需的图案于该第一着色光阻层；(d)对该第一着色光阻层进行显影操作，以形成一第一着色层于该基板上；(e)形成一第二着色光阻层于该基板和该第一着色层上；(f)控制该复数个曝光光源的开关时间并使该基板与该复数个曝光光源间产生一第二相对运动，以对该第二着色光阻层进行曝光操作，并形成所需的图案于该第二着色光阻层；(g)对该第二着色光阻层进行显影操作，以形成一第二着色层于该基板上；(h)重复(e)～(g)步骤至形成复数个所需的着色层于该基板上为止。