[发明专利]静电吸引驱动装置

摘要

本发明提供一种能够小型化、并能够产生大的推进力的静电吸引驱动装置。在向垂直方向突出的状态下相互相对设置了：设置在定子(20)上的多个定子侧电极(23)和设置在动子(30)上的多个动子侧电极(33)。由于在窄的空间中也能三维地确保上述定子侧电极(23)与上述动子侧电极(33)的相对面积宽，因此，能够在两电极间产生大的静电吸引力，能用更大的推进力驱动动子(30)。

主权项

1、一种静电吸引驱动装置，其特征在于，具有：定子，沿着移动方向延伸设置；动子，与上述定子相对设置；定子侧电极，设置在上述定子上、且从与上述动子相对的定子相对面向上述动子方向垂直突出，并且排列在上述移动方向上；动子侧电极，设置在上述动子侧、且从与上述定子相对面相对的动子相对面向上述定子方向垂直突出，并且排列在上述移动方向上，上述定子侧电极和动子侧电极向着与上述移动方向垂直且与上述两相对面相对的方向正交的宽度方向相互相对设置，利用在上述定子侧电极与动子侧电极的相对部分上产生的静电吸引力，使上述动子在上述移动方向上移动。