[发明专利]药液涂敷装置及药液涂敷方法无效
| 申请号： | 200510074289.2 | 申请日： | 2005-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN1710489A | 公开（公告）日： | 2005-12-21 |
| 发明（设计）人： | 水户秀明 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种药液涂敷装置及药液涂敷方法。本发明的目的在于：能够在不使用复杂的设备结构的情况下，在短时间内进行图案形成。药液涂敷装置(涂敷器)，包括：保持衬底1的晶片夹盘6；用于对被晶片夹盘6保持的衬底1上涂敷药液8的涂敷喷嘴3；算出涂敷喷嘴3与设置在衬底1上的测量标记2的相对位置的衬底位置测量机构4；以及在存储用以在衬底1上形成图案的图案信息的同时，根据上述相对位置和上述图案信息进行涂敷喷嘴3的驱动控制及药液提供控制的计算机5。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种药液涂敷装置，其特征在于：包括：保持衬底的保持器；能够在由上述保持器所保持的上述衬底上移动且对该衬底的表面提供药液的涂敷喷嘴；存储用以在上述衬底上形成图案的图案信息的存储器；算出上述涂敷喷嘴与设置在上述衬底上的测量标记的相对位置的位置算出器；以及根据由上述位置算出器算出的上述相对位置、和存储在上述存储器的上述图案信息，利用上述涂敷喷嘴对上述衬底上涂敷上述药液，来形成上述图案的控制器。
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