[发明专利]光学元件成形模具及其制造方法以及制造装置有效
| 申请号： | 200510072057.3 | 申请日： | 2005-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN1868941A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 五十川征史;土野雅道;东条弘美 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | C03B11/00 | 分类号： | C03B11/00;C03B11/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学元件成形模具，通过注入离子提高了在注入离子后所形成的膜与成形面的附着强度，并且通过采用与之不相同的方法而使其具有平滑的成膜面和高附着强度。该光学元件成形模具的制造方法包括第一工序(SO1)和第二工序(SO2)，在第一工序(SO1)中，在设置在真空容器(4)内的母材(2)的周围产生含有作为贵重金属离子的Pt离子，通过对母材(2)施加脉冲电压，从母材(2)周围的等离子中吸引出离子，将该离子注入母材(2)的成形面(2A)；在第二工序(SO2)中，在第一工序(SO1)后的成形面(2A)上，用溅射法形成由Pt构成的膜。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 成形 模具 及其 制造 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件成形模具的制造方法，其特征在于，包括：第一工序，在设置在真空容器内的上述光学成形模具的母材的周围，产生至少包含一种第一贵重金属离子的等离子，通过对上述母材施加脉冲电压，从上述母材周围的上述等离子中只吸引出离子，至少在上述母材的成形面上注入或附着、或者注入并附着该离子；第二工序，在该第一工序后的上述成形面上，采用不同于上述第一工序的成膜方法，形成由与上述第一贵重金属相同或其它至少一种第二贵重金属构成的膜。
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