[发明专利]真空调压阀

摘要

本发明提供一种控制性良好的真空调压阀，可以使用小型且低价的电动机，迅速且正确地对阀部件的开度进行控制。具有通过阀部件(15)开闭主气口(11、12)间的阀座(14)的阀主体部(1)；具有用于开闭操作阀部件的活塞(32)的气缸部(2)；通过使用电动机(45)驱动的挡圈(41)，设定阀部件的开度的阀开度调节部(3)；和根据真空室内的压力传感器(60)的输出，控制阀部件开度的阀控制部(4)。阀控制部的主控制器(63)，根据压力设定值的信号以及来自所述压力传感器的压力信号，向控制电动机(45)的电动机控制器(64)输出用于适当设定阀部件开度的信号，并进行控制以向所述活塞的压力室(37)供给先导流体，使所述活塞(32)移动至与挡圈抵接的位置。

主权项

1.一种真空调压阀，其特征在于，具有：阀主体部，具有阀壳体；设置在该阀壳体内，开闭阀座的阀部件；从此阀部件在所述阀壳体的轴线方向上延伸，前端到达气缸部的阀轴；和向阀座的闭锁方向而对所述阀部件施力的回复弹簧，其中，阀壳体具有用于连接于真空室以及真空泵的第一主气口以及第二主气口；连接这两个主气口的流路；和在该流路中以包围所述第一主气口周围的方式设置的所述阀座；所述气缸部，具有安装在所述阀轴前端的活塞；使所述阀部件开放方向的流体压力作用于此活塞的压力室；和用于向此压力室给排先导流体的先导气口；所述阀开度调节部，具有向所述活塞的背面突出，限制该活塞的移动范围的挡圈；和通过转动—直动变换机构，至任意位置且无级地对设置于该挡圈上的移动部件进行前后移动驱动的电动机；和阀控制部，具有检测所述电动机的转动量的转动量传感器；检测所述真空室压力的压力传感器；向所述先导气口给排先导流体的电磁阀；根据压力设定值的信号以及来自所述压力传感器的压力信号，向控制所述电动机驱动的电动机控制器输出用于适当设定阀部件开度的挡圈位置的信号，并向所述电磁阀输出用于控制以使所述压力室内的流体压力成为活塞驱动控制所需压力的控制信号的主控制器；和根据来自该主控制器的挡圈位置的信号和来自所述转动量传感器的信号而对所述电动机进行控制的所述电动机控制器，通过所述电动机而使所述挡圈发生位移，而对基于所述活塞的所述阀部件的开度进行控制。