[发明专利]工艺参数与规格的控制方法及系统无效
| 申请号： | 200510064113.9 | 申请日： | 2005-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN1848002A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 王雅苓;徐瑞萍;洪启恭;薛登仁;赖彦佑 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B13/00 | 分类号： | G05B13/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 吕晓章;马莹 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种工艺参数与规格的控制方法及系统。此方法是采用原控制工程的规格控制信息，另外将前工程的工艺条件一起纳入考量来达到规格转换的控制。并在后工程因前工程的制造条件不同而采用不同的制造配方来因应时，能透过规格转换来达到不同的规格控制，并非一般放宽规格限制或使用单一规格限制。而在规格转换控制前，系统会自动检查相关的设定，如果因相关信息的不足导致系统无法转换规格时，系统会自动停止控制机台的操作，以避免使用到错误的规格控制。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 参数 规格 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种工艺参数与规格的控制方法，包括：从至少一个先前机台以及一控制机台中收集相关信息；以及根据所收集的相关信息，决定该控制机台的一产出规格，其中，该先前机台是在该控制机台之前对同一批目标物进行处理的机台。
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