[发明专利]用于真空处理单元的闸室设备及其操作方法有效
| 申请号： | 200510059533.8 | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1676485A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·格布尔;于尔根·亨里希;曼弗雷德·韦曼 | 申请（专利权）人： | 应用薄膜两合公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邸万奎;黄小临 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多级闸室设备，具有至少两个、优选的是两个或三个闸室、主要用于排空第一闸室的第一泵组(P1)和主要用于排空第二闸室的第二泵组(P2、P3)，第一泵组(P1)可以排空第一和第二闸室、或将二者共同排空，第一泵组还可用作第二泵组的前置泵站。预见到集成第三泵组(P4)，其可用作第二泵组和/或第一泵组的前置抽吸站。或者，提供至少一个缓冲单元，其缓冲体积用来利用压强平衡在闸室内部产生压强的迅速减小。有可能根据不同闸室的需要，在可变的基础上调整所有泵组的抽吸容量，以便分别获得缩短的时钟周期或循环时间，或者在进气或出气过程的给定时钟周期或循环时间处降低通过压强。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 处理 单元 设备 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空处理厂、特别是连续操作的联机玻璃涂覆厂的闸室设备，其具有：至少两个、优选的是两个或三个按顺序布置的闸室(EK1、EK2)，用于执行两级或多级压强平衡过程；第一泵组(P1)，用于排空第一闸室；以及第二泵组(P2、P3)，用于排空第二闸室，其特征在于，所述第一泵组(P1)通过可封闭的管道(1、2)与第一(EK1)和第二(EK2)闸室连接，使得第一泵组可以排空第一或第二或全部闸室。
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