[发明专利]沉浸式石印流体无效
| 申请号： | 200510054221.8 | 申请日： | 2005-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN1648773A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;B·M·布德赫拉尔;G·E·帕里斯;L·C·巴伯 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温宏艳;王景朝 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了可以添加到沉浸流体中的合适添加剂，包含选自水流体、非水流体和其混合物的至少一种载体介质的沉浸流体，和包含至少一种载体介质和至少一种添加剂的沉浸流体，该至少一种添加剂在140nm到365nm的工作波长下可用于进行沉浸式石印。 | ||
| 搜索关键词： | 沉浸 石印 流体 | ||
【主权项】：
1、一种沉浸流体，其包含：约1ppm到最大溶解度极限的至少一种选自下列的添加剂：烷基醇；烷基乙氧基化物、烷基丙氧基化物、及其衍生物；烷基酸酯；包含胺基的烷基胺；烷基胺乙氧基化物；炔属醇、炔属二醇、及其环氧乙烷/环氧丙烷衍生物；烷基聚糖苷；嵌段低聚物；环氧乙烷和环氧丙烷的聚合物；缩水甘油醚；缩水甘油醚的葡糖胺衍生物；脲；含硅氧烷化合物；氟代或者部分氟代的炔属醇、二醇及其衍生物；含氟表面活性剂；离子性液体；盐；和电解质，条件是如果至少一种添加剂是含氟表面活性剂，则沉浸流体包含约1重量％或以上的水流体。
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