[发明专利]静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器

摘要

一种静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器，包括：静电梳齿激励部分、屏蔽电极、正感应电极和负感应电极、支撑梁部分和固定锚点等几部分。正感应电极和负感应电极既可以位于屏蔽电极的下方，也可以位于接地屏蔽电极的同一平面内，通过静电梳齿的激励作用，屏蔽电极在平面内来回周期振动，从而周期性地屏蔽、暴露正感应电极或者负感应电极，使得正感应电极和负感应电极产生交变的感应电流，实现外电场的探测。并且本发明采用正感应电极和负感应电极，实现差分检测，极大地减小了共模干扰，提高了电场信号检测的灵敏度。本发明的微型电场传感器具有如下优点：成本低、重量轻、易于批量生产和集成化、动态响应好、稳定性好、灵敏度高。

主权项

1.一种静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器，主要由静电梳齿激励部分、屏蔽电极、感应电极以及支撑梁部分组成；其特征在于，采用静电梳齿激励，易于实现较大振动幅度，且可实现较小的激励电压；感应电极采用了差分检测的结构，即采用正感应电极和负感应电极，从而实现信号的差分检测，进一步降低噪声，提高了灵敏度和精度；通过静电梳齿的激励作用，屏蔽电极在平面内来回周期振动，从而周期性地屏蔽、暴露正感应电极或者负感应电极，使得正感应电极和负感应电极产生交变的感应电流，实现外电场的探测。