[发明专利]热驱动微型电场传感器有效
| 申请号： | 200510051260.2 | 申请日： | 2005-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN1828317A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | 夏善红;陈贤祥;白强;陈绍凤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R29/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种热驱动微型电场传感器，其采用热应力驱动屏蔽电极，在水平方向上振动，使传感器具有体积小、重量轻、响应速度快、易于集成的特点；其测量的电流信号采用差分方式输出，提高了电场检测信号的信噪比与灵敏度。本发明以较小的驱动电压和驱动电流不仅可以减小激励信号源对感应电极信号的耦合干扰，而且可以采用标准的CMOS电路作为激励信号源；热驱动微型电场传感器的感应电极分为正感应电极和负感应电极两组，采用差分的方法检测，这样可以大大降低共模干扰，从而提高电场信号检测的信噪比与灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 微型 电场 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种热驱动微型电场传感器，其特征在于，采用热应力驱动屏蔽电极，在水平方向上振动，使传感器具有体积小、重量轻、响应速度快、易于集成的特点；其测量的电流信号采用差分方式输出，提高了电场检测信号的信噪比与灵敏度。
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