[发明专利]缓蚀剂浓度的测定方法无效
| 申请号： | 200510036748.8 | 申请日： | 2005-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN1916617A | 公开（公告）日： | 2007-02-21 |
| 发明（设计）人： | 林知本;田民;顾大伟;张钢升;洪士毅 | 申请（专利权）人： | 深圳富泰宏精密工业有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/48 | 分类号： | G01N27/48 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种缓蚀剂浓度的测定方法，其特征在于包括以下步骤：提供一含有缓蚀剂的待测试剂；在该待测试剂中加入一定量金属离子溶剂；提供一电位扫描装置；在一特定电位区间内，利用该电位扫描装置，以一固定扫描速度测定该待测试剂的循环伏安曲线，该循环伏安曲线具有一峰电流值；提供一线性方程，该线性方程为缓蚀剂溶液的缓蚀剂浓度值与电流值的线性关系，该电流值为该缓蚀剂溶液加入该定量金属离子溶剂后在该特定电位区间内的循环伏安曲线的峰电流值；以该线性方程及该待测试剂的循环伏安曲线的峰电流值确定该待测试剂的缓蚀剂浓度值。 | ||
| 搜索关键词： | 缓蚀剂 浓度 测定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种缓蚀剂浓度的测定方法，其特征在于包括以下步骤：提供一含有缓蚀剂的待测试剂；在该待测试剂中加入一定量金属离子溶剂；提供一电位扫描装置；在一特定电位区间内，利用该电位扫描装置，以一固定扫描速度测定该待测试剂的循环伏安曲线，该循环伏安曲线具有一峰电流值；提供一线性方程，该线性方程为缓蚀剂溶液的缓蚀剂浓度值与电流值的线性关系，该电流值为该缓蚀剂溶液加入该定量金属离子溶剂后在该特定电位区间内的循环伏安曲线的峰电流值；以该线性方程及该待测试剂的循环伏安曲线的峰电流值确定该待测试剂的缓蚀剂浓度值。
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