[发明专利]一种碳纳米管制造方法无效
| 申请号： | 200510035403.0 | 申请日： | 2005-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN1880218A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 吕昌岳;陈杰良;林志泉 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;B82B3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种碳纳米管制造方法，包括下列步骤：提供一表面排布有预定图案掩模的基底；在所述基底表面沉积多层催化剂金属膜及多层碳膜，形成一复合膜层；去除所述基底表面的掩模，获得具有与掩模预定图案相应图案的复合膜层；将所述复合膜层进行热处理，使多层催化剂金属膜及多层碳膜熔合形成含有金属碳化物的催化剂层；在所述催化剂层上进行化学气相沉积生长碳纳米管，获得具有与所述预定图案相应的图案的碳纳米管层。本发明提供的碳纳米管制造方法在碳纳米管生长过程中不会受环境条件的影响，能实现碳纳米管的稳定生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种碳纳米管制造方法，包括以下步骤：提供一表面排布有预定图案掩模的基底；在所述基底表面沉积多层催化剂金属膜及多层碳膜，形成一复合膜层；去除所述基底表面的掩模，获得具有与掩模预定图案相应图案的复合膜层；将所述复合膜层进行热处理，使多层催化剂金属膜及多层碳膜熔合形成含有金属碳化物的催化剂层；在所述催化剂层上进行化学气相沉积生长碳纳米管，获得具有与所述预定图案相应的图案的碳纳米管层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510035403.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：紫外光固化印刷油墨
- 下一篇：半导体晶片的快速热处理方法
