[发明专利]激光量测机台扫描精度验证方法

摘要

本发明提供一种激光量测机台扫描精度验证方法，该方法包括如下步骤：制作BGA标准治具；用分厘卡多次量测每个球的高度，确定高度的名义真值；用CCD影像量测每个球的X，Y值；利用上述数据及习知方法计算及确定该BGA标准治具共面度的名义真值；用激光扫描多次该治具上各球的最高点的X、Y、Z值及通过机台附带程序计算该多个共面度值；对所量测的各个坐标值的量测结果进行重复性比较；将各点的X，Y值分别变化，Z值不变，判断共面度的变化；将Z值与高度名义真值进行对比，判断Z值的准确性；对该标准治具用激光量测所得共面度的准确性及重复性评估，确定激光扫描量则精度。利用本发明可以验证激光扫描精度及量测各种工件的最适合扫描参数。

主权项

1.一种激光量测机台扫描精度验证方法，用于验证激光量测机台的量测球栅数组封装(Ball Grid Array，BGA)的扫描精度，其特征在于，该方法包括如下步骤：根据激光量测机台量测的产品类型制作一个BGA标准治具；用分厘卡多次量测每个球的最高点高度，即Z坐标值，取得每个球最高点高度的平均值，作为最高点高度的名义真值；用电荷耦合器件(Charged Coupled Device，CCD)影像测头多次量测每个球中心的X，Y坐标值，取多次量测的平均值作为每个球球心的X，Y坐标值；采用三个高点组成一个包含BGA重心平面的方法的软件计算及确定该BGA标准治具的共面度的名义真值；激光量测机台选择螺旋形扫描方式多次量测该BGA标准治具上每个球的最高点，每次均获得每个球最高点的X，Y，Z坐标值，通过量测机台附带程序计算出该多个共面度值；对上述多次扫描量测所获取的每个球的最高点的X，Y，Z坐标值的量测结果进行重复性比较，确定坐标值的重复性；将各点的Z向坐标值保持不变，各点的X，Y值分别变化，判断共面度值的变化；将上述各个球激光扫描多次得出的最高点的Z值与名义真值相对比，得出每个点Z向偏差，根据偏差大小判断Z向坐标值的准确性；将上述多次量测所得的多个共面度值计算标准差，及该多个共面度值分别与名义真值相对比计算偏差，根据计算所得偏差及标准差大小对共面度准确性及扫描重复性进行评估，确定该量测设备量测BGA共面度的量测扫描精度。