[发明专利]大面积紧密耦合喷淋头无效
| 申请号： | 200510031825.0 | 申请日： | 2005-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN1891346A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 伍波;袁章其 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | B05B1/14 | 分类号： | B05B1/14 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种用作制备半导体材料的金属有机化学气相淀积设备反应室中送气装置的大面积紧密耦合喷淋头，圆柱形本体中轴向设有相间排列的氨气毛细管和金属有机源毛细管，该两组毛细管分别同相应的送气腔连通，毛细管有位于本体一端表面的喷出口；靠近喷出口一侧的本体中有冷却水腔，它同相邻毛细管之间的冷却水通道相通。它使氨气和金属有机源的预反应、金属有机源的早期分解大大削弱，生长出的GaN材料的贫氮和碳污染基本消除，氨和金属有机源在蓝宝石衬底的近上方混合充分，造就了生长出组分精确、厚度均匀的GaN材料的优良气氛。 | ||
| 搜索关键词： | 大面积 紧密 耦合 喷淋 | ||
【主权项】：
1、一种大面积紧密耦合喷淋头，有圆柱形本体(12)，其特征是，该圆柱形本体(12)中沿轴向设有至少两列金属有机源毛细管(1)和至少两列氨气毛细管(2)，所述金属有机源毛细管(1)和氨气毛细管(2)相间排列且互不相通，所述各毛细管(1、2)的一端为位于所述圆柱形本体(12)一端表面(11)的喷出口，金属有机源毛细管(1)的另一端同设有进气口(6)的金属有机源送气腔(5)连通，氨气毛细管(2)的另一端同设有进气口(4)的氨送气腔(3)相连通，在毛细管喷出口一侧的圆柱形本体(12)中设有带进水口(9)和出水口(10)的冷却水腔。
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