[发明专利]紫光发射增强的氧化锌薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200510031024.4 | 申请日： | 2005-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN1752272A | 公开（公告）日： | 2006-03-29 |
| 发明（设计）人： | 方明;洪瑞金;贺洪波;易葵;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/54;C23C14/58 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种紫光发射增强的氧化锌薄膜的制备方法，采用磁控溅射方法制备，其步骤包括：用99.99％或纯度更高的金属锌掺入光谱纯的金属镉作为阴极的溅射锌靶，阳极和真空室相连，将溅射锌靶焊接到紫铜底板上；将清洗后的基底装在基底夹具上，活动挡板置于所述的基底夹具与所述的溅射锌靶之间；关好各气阀后抽真空，直至真空度达3×10－3Pa以上；通入氩气和氧气后，真空度范围为0.1Pa～0.5Pa；溅射电源功率选择范围为100W～500W，开直流电源起辉预溅射5～10分钟；旋转所述的基底夹具，移开活动挡板，开始沉积薄膜，直至达到所需的薄膜厚度。实验证明用本发明方法所镀制的氧化锌薄膜的紫光发射增强，其他可见区的发光受到抑制。 | ||
| 搜索关键词： | 紫光 发射 增强 氧化锌 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种紫光发射增强的氧化锌薄膜的制备方法，采用磁控溅射方法制备，其特征在于：用99.99％或纯度更高的金属锌掺入光谱纯的金属镉作为阴极的溅射锌靶，阳极和真空室相连，将溅射锌靶焊接到紫铜底板上；将清洗后的基底装在基底夹具上，活动挡板置于所述的基底夹具与所述的溅射锌靶之间；关好各气阀后抽真空，直至真空度达3×10-3Pa以上；通入氩气和氧气后，真空度范围为0.1Pa～0.5Pa；溅射电源功率选择范围为100W～500W，开直流电源起辉预溅射5～10分钟；旋转所述的基底夹具，移开活动挡板，开始沉积薄膜，直至达到所需的薄膜厚度。
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