[发明专利]基于线性模型的离轴信号处理方法

摘要

本发明公开了一种基于线性模型的离轴信号处理方法，其特征在于：信号的拟合处理过程分为RTR(realtimereduce/实时处理)和FPS(fast parameter solve/快速参数解析)两个执行步骤。其有益效果是，在光刻领域首度采用了实时信号处理方法，并将拟合的线性相关度应用到该特殊领域，能够实时精确地得到信号的暗电流，振幅和相位，确保对准位置的计算精度，在很大程度上提高了信号处理结果的可靠性，大大提高了光刻机的生产效率。

主权项

1.一种基于线性模型的离轴信号处理方法，包括以下步骤：(a)确定包含暗电流，正弦系数和余弦系数的线性拟合模型；(b)进行离轴对准扫描，获取位置采样信号和光强采样信号，并将采样信号传送至DSP(数字信号处理器)进行处理；(e)计算出拟合的线性相关度的值R；(f)将计算出来的拟合相关度R和预设最小阈值min R进行比较，如果比较结果是拟合相关度R大于min R，则进行步骤(g)，否则向对准执行层软件返回错误； (g)通过正弦系数和余弦系数的值来计算得到信号的振幅和相位；其特征在于：信号的拟合处理过程分为RTR(real timereduce/实时处理)和FPS(fast parameter solve/快速参数解析)两个执行步骤，这两个步骤介于b与e之间：(c)DSP对接收到的每一组采样信号进行RTR，信号的RTR过程与信号的采样采用实时并行的处理过程，即信号的RTR过程从接收到第一组采样信号以后就开始进行，在接收到最后一组采样信号后的极短时间内完成；(d)当信号的RTR结束后，DSP开始进行信号的FPS以获得暗电流，正弦系数和余弦系数的值。